FLUORO福乐FV-30小型无油隔膜真空泵-半导体制造

FLUORO FV - 30 的结构与工艺设计围绕真空稳定性、洁净性和耐用性三大核心目标，多项细节设计保障其长期可靠运行：

1. 无油隔膜真空结构：该真空泵采用两段式压力降低机构，通过在封闭空间内安装隔膜，利用电磁驱动方式实现压力分段递减。这种无油隔膜设计避免了传统油泵因润滑油泄漏导致的污染问题，同时电磁驱动减少了机械接触磨损，为设备超长使用寿命奠定基础。

2. 双向 HEPA 过滤系统：设备的进气段和排气段均内置 HEPA 过滤器，可高效拦截 0.3 微米及以上颗粒，过滤效率达 99.97%。且主机设有透明观察窗口，操作人员可直观查看过滤器污染状况，及时更换耗材，该设计使其能满足洁净室的使用标准。

3. 防静电与密封结构：机身采用尼龙材质，搭配防静电管路配件，可有效避免静电积累，适配半导体等对静电敏感的作业场景。同时整机采用密封式结构设计，不仅强化了真空密封性，还为设备的低噪音运行提供了结构支撑。