FLUORO福乐FV-60无油隔膜真空泵-半导体晶圆处理真空吸笔

日本 FLUORO（福乐）作为精密真空设备领域的品牌，专为洁净环境打造的 FV-60 无油隔膜真空泵，以 “微型化、零污染、长稳定” 为核心设计理念，适配半导体、实验室、医疗等对真空洁净度与设备体积有严苛要求的场景。相较于传统有油真空泵的污染隐患与大型干泵的空间限制，FV-60 通过无油结构与紧凑设计的创新结合，成为 8-12 寸半导体晶片处理、实验室精密实验等场景的理想真空动力源，填补了小型洁净真空泵市场的性能空白。

真空性能：匹配中低真空需求

FV-60 的真空性能参数经过场景化优化，在小型化机身中实现高效抽气能力：

极限真空度：可达 - 600mmHg（-80kPa），能快速建立稳定真空环境，满足半导体晶片吸附、实验室真空过滤等中低真空需求，较同系列 FV-30 型号真空度提升 。

气流量：稳定输出 2.5 升 / 分钟（0.088 立方英尺 / 分钟），配合连续运转模式，可长时间维持真空压力稳定，避免批次检测或生产中的压力波动问题。

晶片适配性：专为大尺寸精密工件设计，可适配 8 寸及 12 寸半导体晶片的相关处理场景，覆盖主流半导体生产的晶片规格。