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simco进口日本电离器型号4214在线离子发生器
产品型号:4214
产品品牌:
产品简介: 支持超低颗粒 采用单晶硅电极。独特的清洁机制,不会向外部释放颗粒,确保长时间稳定的清洁度采用智能控制电路,无需任何调节内置传感器持续监控离子产生,实现可靠的静电控制器、电源 内置集成自动高压关断功能在低流量时保护产品适用于先进的半导体制造工艺 和其他超低颗粒应用24V DC 驱动

simco进口日本电离器型号4214在线离子发生器

simco进口日本电离器型号4214在线离子发生器

输入电压24V DC+/-5% 6W(典型值)
离子平衡<+/-25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接
静电消除时间<10秒 150毫米距离 40LPM 无管道
+/-1kv → +/- 100v 通过带电板监视器
离子发生方式电晕放电方式 高频交流方式
清洁度ISO Class1,0.1 微米
“扩展 ISO Class1,10nm”*
电极单晶硅可更换
相应的吹扫气体氮气 > 99.998%
流量40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa)
吹扫压力207Kpa(=100LPM流量)
气体温度60摄氏度
N2 吹扫连接世伟洛克 3/8" 外径管道
电离 N2 连接
世伟洛克 1/2" OD 管道连接,带 1/4NPT 内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC
工作温度限制15至60摄氏度
信号输出开/关触点报警和低离子输出
尺寸长 152.4mm x 宽 72.4mm x 深 32mm
不包括管道
重量640克
外部的不锈钢
安装方法背面M5螺丝 螺丝长度必须小于10mm


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