产品简介： ・可以在不停止设备运行的情况下轻松更改气体类型和流量。 • 可以在不损失精度的情况下更改满刻度值。 ・无需为每个规格保留库存。 ・诊断功能可以检测主机的异常。 ・MultiFlo™技术 ・保证零点稳定性的温度补偿电路 ・与传统型号的高兼容性 ・橡胶密封或金属密封 ・各种数字通信、ProFibus、RS485的各种模拟I/O（4-20mA、0-20mA、0-5vdc）， 具有专用服务端口的诊断功能，方便更改气体类型和流量值 您可以轻松操作多气体和多流量软件，只需将其下载到您的 PC 并将其连接到 MFC，而无需将其从管道上拆下。 质量流量控制器 GF40/80 用法 • 太阳能电池、燃料电池、光纤、玻璃和金属涂层。扩散炉、各种工业炉。 ・生物反应器/空气、氧气、氮气、二氧化碳等 ・响应OEM/各种气体类型和流量值的要求，MutiFlo™功能发挥了它的真正价值，减少了使用量， 减少备件。 ・R&D、分析、研究领域 规格表 流速 控制器 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 仪表 3 sccm F. S ~ 50 slm N2 当量 准确性 ±1%SP (35-100%FS) ±0.35%FS (2-35%FS) 再现性 <±0.2%SP 环境温度范围 5-50℃ 外部泄漏率 GF40 1×10 -10 Pa・m3 / s He GF80 1×10 -11 Pa・m3 /s He 输入/输出 0-5VDC, 4-20mA, 0-20mA