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FLUORO福乐C003-Y真空吸笔C002-D-X-103
产品型号：FLUORO福乐C003-Y真空吸笔C002-D-X-103
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FLUORO福乐C003-Y真空吸笔C002-D-X-103
FLUORO福乐C003-Y真空吸笔C002-D-X-103
安全与维护
1. 泄漏检查
●采用水中气泡法检测时，单个气泡可忽略，连续气泡需立即处理。
●防酸系列（如F002-X-02-PK）测试后需用氮气吹干。
2.吸嘴保护
●禁止使用金属工具接触吸嘴，避免划伤PEEK材质。
●测试后需用异丙醇清洁吸嘴，防止化学残留。
设备校准与操作
1.真空泵验证
●测试前需校准真空泵输出压力（如FV-10C002-D-Y-161型号需稳定在-0.1MPa）。
●使用真空度计检测时，需确保传感器精度≤±1%FS。
2.吸附力测试方法
●垂直拉力测试需采用标准砝码（如4英寸晶圆需≥0.8kgf）。
●水平测试时需考虑摩擦系数，安全系数建议≥2.05。
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