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福乐FLUORO福乐真空吸笔C002-D-X/C002-D-Y
一、测试环境控制
1.无尘环境
●测试需在ISO5级以上洁净室进行,避免微粒影响吸嘴密封性。
●导电型号(如90-C)需确保接地电阻≤10Q,防止静电干扰。
2.温湿度要求
●环境温度应控制在20±2°C,湿度≤40%RH,避免橡胶吸嘴变形。
二、设备校准与操作
1.真空泵验证
●测试前需校准真空泵输出压力(如FV-10C002-D-Y-161型号需稳定在-0.1MPa)。
●使用真空度计检测时,需确保传感器精度≤±1%FS。
2.吸附力测试方法
●垂直拉力测试需采用标准砝码(如4英寸晶圆需≥0.8kgf)。
●水平测试时需考虑摩擦系数,安全系数建议≥2.05。
