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EBARA荏原ESP-7型压力传感器
产品型号:ESP-7
产品品牌:EBARA 荏原计器制作所
产品简介: ESP-7型压力传感器是使用扩散型半导体的高性能传感器,检测单元的信号通过内部放大电路放大,并在调整期间转换为4至20 mA,然后再发送。

EBARA荏原ESP-7型压力传感器

■  特点

由于使用了扩散型半导体传感器,因此具有的可靠性和耐用性。

受压部使用SUS316L不锈钢。

即使在50kPa或更低的低压下也具有的稳定性。

除空气,水,油等外,它还可用于多种测量。

我们主要生产ESP-7型传感器,并生产多种应用产品,例如隔膜型和卫生型,适合食品,化学药品和制药等各种应用

压力传感器的内部结构

 

 

 

 

 

工作原理

 

工作原理

流体压力首先由不锈钢隔膜1接收。

压力通过封闭在内部的硅油(2)传输到扩散型半导体传感器,而不会造成压力损失

在扩散型半导体压力传感器中,将硅基板⑥接合至玻璃台架⑨,并且将其中央部蚀刻成薄的隔膜形状。

传递的压力使隔膜变形,并改变上部形成的压电电阻计⑦。

压电电阻计由小电流驱动,并通过焊线⑤输出与压力成比例的电信号

电信号由内部电路板的放大电路部分放大,并作为由调节器调节的信号输出,作为4至20 mA的电流输出或1至5V的电压输出。

由于扩散型半导体压力传感器会因温度变化而导致输出变化较大,因此我们的压力传感器会根据其各自的特性进行温度补偿。 

 

 

 

传感器内部结构

 

 

 

 

 

压力单位对照表

 

压力单位对照表 

 

 

 

SI单位/旧单位指南/压力类型

 

SI单位/旧单位指南/压力类型


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